여러 방전에서 전원의 주파수는 60㎐(저주파)의 교류를 사용하는 것이 일반적이지
만, 주파수를 높이면 방전이 쉽게 일어나 고주파 방전이 된다. 방전시에 일어나는 화학반응 중 몇 가지는 방전의 주파수를 높이면, 그 수득률이 증가한다. 따라서 고주파 교류로 진공 방전시키면 방전관 내의 기압이 100㎜Hg의 낮은 진공도에서도 기체종류에 따라서 그 특유의 색깔을 얻을 수 있다. 크립톤 ·크세논 등 비활성기체 중의 고주파방전은 진공자외선(眞空紫外線)의 광원(光源)으로 사용된다.
